electronic gas

和远气体公告投资6.84亿元扩建宜昌电子特气及功能性材料产业园的4500吨/年电子级三氟化氮项目。电子级三氟化氮是微电子工业中优良的等离子蚀刻气体，项目分两期建设三年完成。宜昌产业园占地880亩分两期…